半導體應變片有哪些類型?

一、按敏感柵製造方法分類有三種

1、 體型半導體應變計，用單晶矽或單晶鍺按一定晶軸方向切成撥片，經過摻雜、拋光、光刻等製成。

2、 擴散性半導體應變計，利用固體擴散技術將某種雜質元素擴散到半導體材料上，這樣製成擴散型應變計。

3、 薄膜型半導體應變計，與金屬薄膜型應變計類似，敏感柵也用真空蒸鍍、沉澱方法製成，它由矽、鍺等半導體材料形成導電薄膜，基底材料由金屬箔、玻璃或陶瓷薄片。

二、 按溫度補償類型分，半島體應變計可分為靈敏係數補償型與熱輸出補償型，熱輸出補償

型又可分為單柵自補償、雙柵半橋自補償及熱敏元件補償型。

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